ゴミ・異物対策で重要な
気流の確認方法

ゴミ・異物対策で重要な気流の確認方法
ゴミ・異物対策で重要な気流の確認方法

ゴミ・異物は気流に乗って移動します

 

クリーンルーム内では、小さな粒子は無秩序な動きをしながら拡散し、大きな粒子は重力によって落下します。全ての粒子は気流によって運ばれるため、ゴミ・異物対策において気流のコントロールは欠かせません。

気流を見える化する4つの方法


1.タフト法

気流内に設置したタフト(例えば、絹糸・ナイロン繊維・織物の小さい帯、及びフィルムの薄いテープ)を観察する方法

 

 

2.トレーサ注入法

 

トレーサ粒子の挙動を観察又は画像化する方法。トレーサ粒子は、純水など表面汚染のないミストを選定してください。塗装現場などの汚染をあまり気にせず、給排気の速度の速い環境では、スモークテスターなどの活用も有効です。

     【気流可視化装置「エアーフローチェッカー」】

>     【気流可視化装置「エアーフローチェッカー」】

     【モバイル気流可視化装置「AVIS -エイヴィス-」】

>     【モバイル気流可視化装置「AVIS -エイヴィス-」】

 3.  画像処理による気流可視化法

トレーサ注入法の画像データをコンピュータで処理して気流の状態を示す方法。その領域内の気流状態が速度ベクトルによって示されます。

 

4.速度分布の測定による気流可視化法

熱式又は超音波三次元風速計などによる風速測定を対象領域内の複数箇所で行う方法。

測定データの処理によって気流分布に関する情報を得ることができます。

  【超音波三次元風速計】

> 【超音波三次元風速計】

これらの手法を使って気流を調査し管理を行うことが、ゴミ・異物対策に重要です。

NCCでは気流管理のコンサルティングや測定機材の提供も行っています!お気軽にご相談ください。

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