付着異物・落下塵の調査に
『落下塵カウンター』

※「粗大粒子カウンター」とは全く別の測定装置です。

浮遊塵ではなく落下塵を測定することが付着異物の対策に繋がります！

製品への付着異物を減らしたいなら、パーティクルカウンターではなく落下塵カウンターで測定する必要があります。

その理由として、

①付着異物の原因となる粗大粒子は10μm～100μmとサイズが大きくて、パーティクルカウンターでは測定できないから

②粒子が大きい粗大粒子は空気中に浮遊せず、沈降して落下塵となるから

以上の2つが挙げられます。

また、2021年2月からはISO14644-17が制定され、不良原因となる粗大粒子を直接管理指標とすることが可能になっています。（ISO14644-17に記載されているPDRとPDRLの関係についてはこちら）

そのため、空気中の微小な浮遊塵ではなく落下塵を測定することで、付着異物を管理できるのです。

本機はシリコンウエハでサンプルし、10μm～100μmの粗大粒子の分級とカウントに特化した測定装置です。

100μm以上の毛髪等の異物は形状や重さの影響でシリコンウエハでのサンプルは不向きです。

より大きいサイズの異物調査には『ダスカー®100 BLACK』がオススメです。

*3)任意区分で設定した閾値は検量線から求めた値であり、計数効率の保証は出来ません。

*4)計数効率は4インチエリアのみ保証、エリア限定している2インチの場合は計数効率の保証ができません。

≪他にもこんなお悩み事も解決！≫

・粘着シートでサンプリングして、顕微鏡で目視カウントしているが測定効率が悪く、時間が掛かる

・装置内で付着する塵埃を調べたいが、良い測定方法が見つからない

・保管エリア内や高温のオーブン内、動作中のコンベアなどのゴミ付着の調査をしたいが、良い測定方法がわからない。

≪その他にこんな使い方もできます！≫

・スタンプテストで手袋やウエアの付着汚れを調査することができます。

・保管中や搬送中など従来見落としていた工程での付着ゴミ調査。

・乾燥工程や加熱工程、成膜装置などの炉内や真空チャンバー等の人が入って行けず、測定が難しい環境での調査も可能です。

・エアガンやワイパーでの除去率、除電の有無での付着し難さなど差分を使ってデータを取ることができます。

落下塵カウンターの設置環境はクリーンブースかクリーンベンチをご用意ください。

クラス100程度のクリーン環境に設置することで、測定時や上はクリーニング時のゴミ付着によるデータの信頼性低下を防止できます。

▼専用のフォルダーとウエハを準備するだけ　　　▼ウエハはクリーニング治具を使って再利用可能

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