「落下塵カウンター」導入事例

改善キーワード：ゴミ・異物対策、クリーンルーム管理、落下塵管理、管理精度向上

長野県　自動車部品メーカー　A社様

最近の自動車には電子制御部品やセンサー等の精密部品が多く使用される傾向にありますが、これらの部品は異物混入により誤作動を起こすと重大な事故を引き起こすリスクが高いことから、国際的にゴミ・異物混入に関する基準が厳しくなっています。

長野県内で自動車部品を製造するA社様も、これまでは「異物対策＝クリーンルーム内で製造すること」と捉えていたためゴミ・異物管理を実施してませんでしたが、納品先様からクリーンルーム内においても不良となる異物粒径を直接管理するよう求められ、早急な対応が必要となりました。

しかし、同社が所持している「気中パーティクルカウンター」では大気中に浮遊している1μm以下の微小粒子は測定できるものの、沈降し製品に付着することで不良へと繋がる10～100μmの”粗大粒子”の測定には精度が最適ではないため、高い精度で計測できる機器の選定にお困りでした。

クリーンルーム内へ機器を持ち込まず、粗大粒子を高い精度で測定可能とする「落下塵カウンター」をご紹介し、課題である“直接管理”を可能とするご提案をいたしました。

落下塵カウンターは落下した粗大粒子を測定できる特殊測定機です。

検体となるシリコンウエハを一定時間環境にばく露しそれを計測することで、自動的に10μm以上の粗大粒子を分級・カウントし異物を直接管理することが可能です。

落下塵カウンターは浮遊塵は測定できないものの、落下塵に特化しており精度よく大きさを分けることができることから同社の目的に合致し、また計測器を持ち運ぶ必要が無くシリコンウエハを設置するだけという利便性から不必要な人の出入りによるクリーンルーム内を汚染することもありません。

落下塵カウンターの性能や利便性を確かめていただくため、導入前にデモを実施しました。今回は4インチと2インチの2サイズのシリコンウエハを用意し、4インチのウエハを製造環境の床と検査テーブルの上に4つずつ、2インチのウエハは製造装置内に2つ設置しました。

6時間ばく露させたあと落下塵カウンターにて計数したところ、製造装置内の検体について特定の粒径が特に多く検出されました。デモを実施したことにより異物原因を明らかにしたことで発生元の特定にも至ったことから、同社には落下塵カウンターの性能について高く評価頂き導入することとなりました。

導入後は、クリーンルーム内の異物を直接管理することができるようになり、納品先様にも安心していただけたとのことです。

それだけでなく、本機はネットワークに対応しているため、測定データをweb（自社ネットワーク）フォルダーに保存すればクリーンルームに入室しなくてもどこでもPCで確認することができることから利便性に優れており、この点も導入の決め手となったようです。

同社の担当者様からは「同様の製品の中では安価ですが、性能は確かで1検体1分で測定が終わりデータのアウトプットも早いので助かります。」とのお声を頂いただけでなく、「クリーンレベル向上のために他にも相談にのって欲しい」と提案力も高く評価頂く結果となりました。

弊社はこれまでの経験や知見に基づき、お客様毎に最適なご提案が可能です。

この事例に関する内容については、お気軽にお問い合わせください。