清浄度アップが手軽に叶う
「CSS簡易クリーンブース」

ゴミ不良対策の基本は、“ゴミをいかに製品に寄せ付けないか”が重要です。

特に「粗大粒子」と呼ばれる10μmから100μｍのゴミは、気流に乗って部屋中に拡散するうえ、いつのまにか落下し製品に付着します。この粗大粒子が付着塵となるリスクを最小にするためには、発塵してもすぐに排出する環境を保つことが重要です。

CSS簡易クリーンブースは、天板サイズに対し大型のHEPAフィルターユニットを採用することで、床面に向かって強力な吹き出し気流を発生させます。
この気流により、従来の簡易ブースで問題となっていた乱流域の発生や換気回数不足を解決し、常に高いクリーンレベルを保つ作業環境の構築を実現しました。

換気回数：最大1100回/hr以上でブース内に発塵した粗大粒子をすぐさま排出します。
作業中も、0.3～0.4m/secの排出気流で作業面をクリーンアップし続け、繊維ゴミなどが付着するリスクを最小にします。 

上記のグラフの通り、ブース内にシリコンウエハを設置し、落下塵カウンターで内と外の粗大粒子の数を測定しても、ブース内には粗大粒子が全くないことが分かります。

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特徴

実際の作業に適したサイズ・仕様を追求　※カスタムサイズの対応も可能です。

お客様のご要望に合わせたサイズの変更はもちろん、照明やコンセント、パネル仕様についてもご希望がありましたらご相談ください。

オリジナルクリーンブース導入事例

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