ゴミ･異物対策の始め方とポイント
製造現場のゴミ・異物対策を進めるにあたり、どのように対策を進めていけばいいのか、その方法に試行錯誤している企業が多いようです。
ゴミ・異物対策を進める際には、「現場・現物・現象」をよく確認することが重要です。具体的には、作業環境にどれだけゴミ・異物が存在するのか、どこからやってくるのか、発塵源はどこにあるのかなどの「現状分析」を行うことが必要です。
ゴミ･異物対策の始め方とポイント
ポイント1：ゴミ・異物の状況を調査しよう
まずは工程内にどのようなゴミ・異物が存在するのか調査しましょう。クリーンチェックライトを使用すると工程内の発塵や堆積塵の状況を「見える化」できます。普段の清掃と組み合わせて、発塵状況や堆積塵の再飛散の状況を把握しましょう。
ポイント2：気流(空気の流れ)を調査しよう
次に気流に注目しましょう。タフト法やトレース法などを使って気流を可視化し、改善が必要かどうかを調査します。
発塵や気流の状況を確認した後、そのままの環境でコントロールする方法を検討しましょう。明らかに工程を隔離する必要があるかどうかがクリーンルームをつくるか否かの決め手となります。
また、クリーンブースなどで局所クリーン環境を作る場合にも、気流の理解が重要です。対策を行う際には、人の動作による気流の乱れに注意し、作業位置の設定や歩行エリアの制限なども考慮してください。
ポイント3：ゴミ・異物が"どこに・どれだけ"付着・堆積しているかを調査しよう
工程内のゴミ・異物の堆積箇所の目星がついたら、より具体的に問題となっている粒径や場所を明らかにするために調査します。
付着・堆積しているゴミ・異物をサンプリングするのに最適なクリーン化機器が「落下塵カウンター」です。シリコンウエハを使用して工程内や装置内を同時にサンプリングし、粒径別にゴミ・異物を数値化できます。
どうして、ゴミ・異物の把握から始める必要があるの？
把握する必要のあるゴミ・異物というのは、人の動きで舞い上がる堆積ホコリや、人や物から脱落する繊維ゴミなど、”直接的に不良原因となる粒径”のものです。
これを、「粗大粒子」といいます。
粗大粒子はギリギリ肉眼で見えるか見えないかのサイズですので、専用の見える化ライト（クリーンチェックライト等）を使ってまず”見えるようにする”ことで、対策の一歩となります。
粗大粒子と微小粒子の違いについてはこちらの記事をご覧ください。
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