落下塵測定サービス実施事例

対策キーワード：クリーンルーム、管理、クラス1,000、落下塵

滋賀県　樹脂成型加工　F社様

滋賀県にてクリーンルームを使用し樹脂成型加工を行うF社様。

パーティクルカウンターによる清浄度管理を実施しクラス1,000の清浄度を達成していましたが、10μm～100μmサイズの”粗大粒子（落下塵）”はパーティクルカウンターでは測定できないため、管理方法についてお困りでした。

そんな中、弊社のHPをご覧いただいたことをきっかけに「パーティクルカウンターでは時間経過で自然落下する特性を持つ落下塵の管理は難しい」ということを知り、ご相談いただきました。

ご相談に対し「クリーンルームの清浄度規格と落下塵の管理規格を異なり、別の管理が必要」ということをご説明し、落下塵の簡易計測が可能な「落下塵測定サービス」の実施をご提案いたしました。

「落下塵測定サービス」は落下塵を採取・測定することのできる計測器「落下塵カウンター」を用いた計測受託サービスです。

弊社から送付した検体を用いて、ご自身にてサンプリングを実施・返送いただくだけで測定結果を報告書としてお届けします。

他社にも落下塵を計測可能な製品はありますが購入を前提としたデモ使用のみのサービスなのに対して、本サービスは測定器の移送なく何度でも気軽に活用いただけるメリットがあります。

また、採取したゴミや異物の成分を分析することのできる「成分分析サービス」もオプションで実施することも可能です。

同社はクラス1,000の清浄度をクリアしていたこともあり落下塵は少ないと考えていましたが、実際の初回測定結果はイメージしていた”1ウエハ範囲に数個”よりもはるかに多い”数百個の落下塵”が計測されました。

また、弊社が独自に評価している、ISO14644-17（粒子堆積速度のアプリケーション）とISO14644-1（粒子数濃度による空気清浄度の分類）を組み合わせた「落下塵数からクリーンルームの清浄度を推定する方法」を用いると、今回の落下塵数では「クラス10,000以上相当」であり、パーティクルカウンターではわからなかったサイズの異物も対象とした管理方法へ改善する必要性が示唆されました。

今回の測定に加え、成分分析オプションも追加しクリーンルームへの特定物質を含む文具の持ち込み制限を行ったことで、初回測定時の1/3程度まで落下異物を減らすことができました。

また、定期的に本サービスを実施頂き、パーティクルカウンターに頼らない落下塵の定点観測にご活用頂いています。

ご担当者様によると「クラス1,000の管理ができていると思っていたので想像をはるかに超える落下塵量に驚いた。」と落下塵の見える化・計測の重要性をご理解いただけたと同時に、「NCC担当者がクリーンルーム規格や異物管理について解説してくれ、今では異物対策の相談にも乗ってもらっている。」と弊社のノウハウやサポート体制についても高く評価いただきました。

弊社はこれまでの経験や知見に基づき、お客様毎に最適なご提案が可能です。

この事例に関する内容については、お気軽にお問い合わせ下さい。