クリーンルームのクラス/清浄度についてプロが解説

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クリーンルームのクラスとは？ISOやFEDで何が違う？
クラス100やクラス1,000の意味を粗大粒子対策のプロ解説

クリーンルーム規格のクラス100やクラス1000とは、空気中の粒子数を表す指標であり、クリーンルーム内の空気の清浄度を示す重要な基準です。

これらの数字はFEDを始めISO 14644規格などで定義されており、クラス別に求められる管理方法が異なります。

ここでは、クリーンルームのクラス＝「清浄度クラス」についての詳細と、その管理方法をお伝えします。

クリーンルームを管理する上で欠かせない知識として、「清浄度レベル」と「清浄度クラス」があります。

・清浄度レベルとは: 特定のある場所、またはある空間中に存在する汚染物質の量または粒子の大きさ別に分級された数によって、等級分けされた清浄度の程度のこと。

・清浄度クラス: 清浄度レベルを表す具体的な指標のこと。ISO 14664、JISのほか、廃止にはなりましたがFEDもまだ使用されています。よく聞く「クラス100」「クラス1000」などのクリーンルームクラスのことです。

清浄度クラスには大きく3つの規格があります。

現行で使用されているものはJIS規格とISO規格ですが、FED規格（アメリカ連邦規格）も粒子数や清浄度がイメージしやすく古くから使われてきたことから、米国や日本においては廃止されてもなお使用され続けています。

・FED（FED-STD-209）/アメリカ連邦規格: ・1963年 Federal Standard 209(FED-STD-209) 制定
・1988年 FED-STD-209D に改定
・1992年 FED-STD-209E に改定
・2001年11月に廃止されISOに統合
・「クラス100」「クラス10,000」という表し方をする

・JIS B 9920: ・1975年日本の規格として制定
・2002年改定
・2019年改定
・クラス1～8に分類しており、FEDとは対象とする粒径が異なる。

ちなみに、これらの規格は空間中に浮遊する比較的小さい「浮遊塵」を対象としています。

比較的大きく、床や作業台、製品などの表面に落下・付着する性質を持つ「落下塵」はまた別の「ISO 14644-9」で定義されています。

また、「ISO 14644-1」と「ISO 14644-9」を関連付けるのに必要な「SCPクラス」というものも存在します。

詳しくはこちらのページをご覧ください。

清浄度レベルは特定の空間における汚染物質の大きさ別の量で決まりますが、簡単にイメージするために立方体を思い浮かべてください。

現在フィートはほとんど使われることが無くなりましたので、一片の長さをメートルで表すISO規格やJIS規格が現在主流になっています。

その他にも違いがあります。

FED規格は1立方フィート中の粒子径が0.5μm以上なのに対し、ISO/JIS規格は1立方メートル中の粒子径が0.1μm以上の粒子個数で等級分けされます。

FED規格はISO規格に統合されたことから、2つの規格は対応しています。

指定粒径以上の許容粒子濃度から見るISOクラスとFEDクラスの対応はこの表の通りです。