クリーンルームのクラス/清浄度別の管理方法を解説
クリーンルームのクラス別に必要な換気回数や
管理方法について、粗大粒子対策のプロが解説
クリーンルーム規格のクラス100やクラス1000とは、空気中の粒子数を表す指標であり、クリーンルーム内の空気の清浄度を示す重要な基準です。
クリーンルームのクラスについての解説は以下のリンク先で詳しく説明していますので、ぜひご覧ください。
このページではクラス別に必要な管理方法について解説します。
工程別！必要な清浄度クラスについて
高い清浄度が求められる昨今、自社のクリーンルームで十分なのかどうか気になる方も多いと思います。
ここではどのような製造工場、工程にどのくらいの清浄度が必要なのかの目安をご紹介します。
| 分野 | 必要な清浄度の目安 | 工程、対策 |
|---|---|---|
| 半導体工場 | Class3～5 | ・ウエハ製造工程 ・露光工程 ・エッチング工程 ・蒸着工程 |
| 電子部品工場 | Class5～7 | ・製造工程 ・組立工程 ・品質検査工程 |
| 光学機器工場（光学レンズ・フィルム） | ・研磨工程 ・洗浄工程 ・蒸着工程 ・組立工程 ・フィルム加工 |
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| 精密部品工場 | ・加工工程 ・組立工程 ・検査工程 ・梱包工程 |
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| 食品・薬品製造工場 | Class5～8 | 全工程において虫や毛髪の混入対策 |
| 印刷・塗装工場 | Class6～8 | ・前洗浄工程 ・塗装印刷工程 |
| 自動車部品工場 | ・電装部品製造工程 ・組立工程 ・検査工程 ・内外装塗装工程 |
|
| その他 | ・手術室、治療室 |
クラス別！管理に必要な換気回数とは
高い清浄度を実現するためには、もちろん空気を入れ替えるための“換気”回数を増やす必要があります。
また、少ないフィルタで換気を行うよりも、多くのフィルタで行う方がより効率的かつ高い効果が得られます。
こちらの表では清浄度クラス別の換気回数と、フィルタ天井配置率の一例を紹介しています。
| ISOクラス（FEDクラス） | 換気回数（回/h） | フィルタ天井配置率 |
|---|---|---|
| 3（1） | 420 | 全面 |
| 4（10） | 360 | 全面 |
| 5（100） | 200 | 50% |
| 6（1,000） | 35 | 10% |
| 7（10,000） | 25 | 7% |
| 8（100,000） | 15 | 4% |
「クラス100」の清浄度を実現するためには
クラス100とは、28.3L(約30cm四方の立方体)の空気中に0.5μmの粒子が100個以下の状態をさします。
部屋の空気をよりキレイにすることに加え、舞い上がる粒子を抑制しないとクラス100の環境は構築できません。
このレベルからは、一方向流式のクリーンルーム構造が必要になります。
◆クラス100を実現するために用いられる方法：一方向流式（置換）
空気をキレイに入れ替える置換方式です。
床がグレーチングとなっているため粒子の舞い上がりを抑えることができます。
◆クラス1000以下に用いられている方法：非一方向流式（希釈）
空気中の粒子を綺麗な空気で薄める希釈方式です。
床はベタ床のため、定期的に清掃しホコリを除去する必要があります。
クリーンルームの管理方法について
クリーンルーム設置後の品質と清浄度を維持するための管理方法として、「5S」と「クリーン化四原則」という2つのアプローチが有効です。
①5Sの活用
「5S（ごえす）」とは「整理（Seiri）」「整頓（Seiton）」「清掃（Seiso）」「清潔（Seiketsu）」「躾（Shitsuke）」の日本語の頭文字を取ったものです。
これをクリーンルームにも応用することで、より効果的な清浄度の維持が可能となります。
②クリーン化四原則
クリーン化四原則は、「持ち込まない」「発生させない」「堆積させない」「除去する」の4つの原則から成り立ちます。
また、継続的なクリーンルーム管理を実現するために、NCCではこの四原則に「監視する」を追加した「クリーン化四原則+1」の考え方を推奨しています。
