クリーン環境でゴミ・異物を運ぶ
「気流」の可視化方法


クリーンルーム・クリーン環境において異物を運ぶ「気流」
その気流の可視化する4つの方法と対策について解説

ゴミ・異物は気流に乗って移動します
クリーンルーム内やクリーン環境では、~10μmの小さな粒子(微小粒子)は無秩序な動きをしながら拡散し、10μm~100μmの大きな粒子(粗大粒子)は重力によって落下します。
全ての粒子は気流によって運ばれるため、ゴミ・異物対策において気流の可視化と対策は欠かせません。
気流を見える化する4つの方法
1.タフト法
気流内に設置したタフト(例えば、絹糸・ナイロン繊維・織物の小さい帯、及びフィルムの薄いテープ)を観察する方法です。
2.トレーサ注入法
トレーサ粒子の挙動を観察又は撮影する方法。トレーサ粒子は、純水など表面汚染のないミストを選定してください。塗装現場などの汚染をあまり気にせず、給排気の速度の速い環境では、スモークテスターなどの活用も有効です。
3. 画像処理による気流可視化法
トレーサ注入法の画像データをコンピュータで処理して気流の状態を示す方法。その領域内の気流状態が速度ベクトルによって示されます。
4.速度分布の測定による気流可視化法
熱式又は三次元超音波風向風速計などによる風速測定を対象領域内の複数箇所で行う方法。
測定データの処理によって気流分布に関する情報を得ることができます。
これらの手法を使って気流を可視化し管理を行うことが、ゴミ・異物対策に重要です。
NCCでは気流管理のコンサルティングや測定機材の提供も行っています!お気軽にご相談ください。
気流の影響を軽減する対策方法3選
気流による異物の持ち運びを軽減するために、「気流を止める」「気流をうまく活用する」という観点で対策を行うことが可能です。
具体的な方法を3つご紹介します。
1. 間仕切りの活用
特定のクリーンエリアに一般環境からの気流が入り込まないよう、ビニールカーテンなどで間仕切りを設置します。NCCがオススメする「スーパーダストキャッチネット」は、粘着剤付きの間仕切りネットなので気流は通してもゴミ・ホコリをキャッチすることができます。
2. エアロックの活用
エアロックとは気圧の異なる場所を人や物が移動するときに、隣り合う室内の圧力差を調節する機能を持った通路や部屋のことです。エアシャワーやパスボックスもこれに該当します。
3. 陽圧化
室内の排気量より給気量を増やすことでクリーンエリアの気圧が高くなり(陽圧)、外部からの気流をシャットアウトすることができます。ただ設計時に注意しないと高いコストの割に効果が得られない可能性もあります。
自社にどのような気流対策方法が適しているのか、どんなやり方で対策できるのか知りたい方はNCCまでご相談下さい。