エアシャワーの効果と正しい使い方
クリーン化四原則の1つ「持ち込まない」の手段として、クリーンルームの入り口にエアーシャワーを設置している方は多いかと思います。
しかし、エアーシャワーの効果がどの程度あるのかご存知ですか?
ここでは、エアーシャワーの効果と使い方について基本的な考え方をご紹介いたします。
エアーシャワーの効果
・クリーンルームやクリーン環境に入る前に、作業者や持ち込む物体の表面に付着した微細な粒子や異物を
取り除くことが可能
・クリーンルーム内の清浄な空気と、クリーンルーム外の空気が混ざってしまわないよう遮断する
「エアロック効果」が得られる
エアーシャワーはどの程度のゴミ・異物を除去できるの?
エアーシャワーはクリーンウェアに付着したゴミ・異物は約半分程度しか除去できません。
特に10μm以下の微細な粒子に対しては約2割程度の除去効果です。
これは粒子が小さくなると物理吸着や静電気の影響が大きくなり、エアーシャワーの力では完全に除去できないためです。エアーシャワーを活用する際は、この点を理解して適切に使用する必要があります。
エアーシャワーの正しい使い方
エアーシャワーの効果を最大限に引き出すためには、以下の3点に注意して使用してください。
1. エアーシャワーだけでは効果が限定的であること
2. クリーンウェアを正しく着用すること
3. クリーン化機器など、他の対策と併用して使用すること
エアーシャワーだけで完全に除去できない微細な粒子や静電気に対応するために、
クリーン化機器を併用することが重要です。
例えば、イオナイザーをエアーシャワーに追加することで、静電気対策が強化されます。