歩留りに効く
粗大粒子対策の進め方

製造現場のゴミ・異物対策を進めるにあたり、粗大粒子と呼ばれる10〜100μmや数百μm以上の粒子に対する対策が特に重要ですが、どのように対策を進めていけばいいのか、その方法い試行錯誤している企業が多いようです。

粗大粒子を含めたゴミ・異物対策を進める際には、「現場・現物・現象」をよく確認することが重要です。具体的には、作業環境にどれだけゴミ・異物が存在するのか、どこからやってくるのか、発塵源はどこにあるのかなどの「現状分析」を行うことが必要です。

ステップ1：現場のゴミ・異物を見える化

最初にお勧めするのは、クリーンチェックライトを使用して現場のゴミ・異物を見ることです。実際に工程内や作業台、製品などにゴミ・異物が付着、堆積していないかを自分の目で確認してみましょう。自分の目で確認することで、意識も変わります。

クリーンチェックライトは、見えないゴミを見える化してくれる機器です。

＞ホコリが見えるクリーンチェックライトシリーズ　

ステップ2：清掃前後のゴミ・異物を見える化

現場の清掃前後でゴミ・異物を除去できているのかをクリーンチェックライトで確認します。除去できていない場合は清掃方法の見直しを検討する必要があります。

＞クリーンルーム環境の清掃サポート　

ステップ3：ゴミ・異物が “どこに” “どれだけ” 付着・堆積しているかを調査

付着・堆積しているゴミ・異物(粗大粒子)の調査に最適なクリーン化機器が「落下塵カウンター」です。シリコンウエハを使用して、工程内や装置内などを同時にサンプリングし、どの場所が多いのか、どの粒径が多いのかを数値化して調査ができます。また顕微鏡を使用して異物を観察することも有効です。繊維・紙粉・金属など、顕微鏡で見ることである程度の分類が可能です。

＞落下塵カウンター

NCCでは、粗大粒子対策に関するコンサルティング、見える化ツールの提供などのサポートを行っています。

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